ME-L 是一款科研级全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪，凝聚了颐光科研团队在椭偏技术多年的研发投入，其采用行业前沿的创新技术，包括消色差补偿器、双旋转补偿器同步控制、穆勒矩阵数据分析等。 可应用于各种各向同性/异性薄膜材料膜厚、光学纳米光栅常数以及一维/二维纳米光栅材料结构的表...

　　Mapping系列光谱椭偏仪是全自动高精度Mapping绘制化测量光谱椭偏仪，配置全自动Mapping运动机构，通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现薄膜全基片的膜厚及光学参数自定义绘制化测量表征。

　　SE-VM是一款高精度快速测量光谱椭偏仪,可实现科研/企业级高精度快速光谱椭偏测量，支持多角度、微光斑、可视化调平系统等高兼容性灵活配置，支持多功能模块定制化设计。

　　SR-M 针对特定微小区域，可提供微米级的聚焦光斑，同时利用显微物镜定位测量点，从而获取精准位置的厚度表征结果。

　　SR-Mapping反射膜厚仪是超快速薄膜表征仪器，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱，从而测量薄膜的厚度及光学常数。

　　SR-C 紧凑型高精度反射膜厚仪，利用光学干涉原理，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。