2024半导体先进技术创新发展和机遇大会将于2024年5月22-23日在苏州·狮山国际会议中心组织举办。本次会议将分别以“CHIP China晶芯研讨会”和“化合物半导体先进技术及应用大会”两场论坛的形式同时进行。
展会邀请函
武汉颐光科技有限公司将携核心技术产品参展,诚邀业界同仁共聚本届盛会,莅临展位现场参观交流、洽谈合作。
展位布局图
颐光科技展位号:20
部分产品介绍
1.反射膜厚仪 SR-Mapping
特征:
· 紧凑集成化设计,小巧轻便
· 人性化设计,极致用户操作体验
· 丰富的材料数据库及算法模型库
· 支持2/4/6/8/12寸定位测量
2. 光学膜厚传感器 HRSR200
特征:
· 超精密厚度测量,满足5μm-800μm的厚度监测
· 可测量所有具有粗糙、反射或不透明表面
· 对恶劣的工业环境适应性高
· 对热、湿或振动不敏感
· 采样速率大于3KHz
3. 光谱椭偏仪 ME-Mapping
特征:
· 全基片分布信息测量能力
· 支持图像识别,Pattern区测量
· 用户自定义Recipe,一键调用
· 支持2/4/6/8/12寸全基片定位测量
4. 傅里叶红外干涉仪 IRE200
特征:
· 单抛/双抛等多种模式选择支持
· 自定义Mapping功能
· 高检测速率:Si标准外延片测量25点≤3min
· 高检测精度:≤0.01um
Advancing the Light Exploring the World
关于我们
武汉颐光科技有限公司(Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd.)是国内专业从事高端椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的高新技术企业。公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办,与华中科技大学紧密合作,是国内椭偏光学仪器领域颇具优势的技术团队。
公司注册于武汉东湖国家自主创新示范区,立足光谷,面向全球,为科研和工业用户提供仪器、软件、服务等综合解决方案。
产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜、光刻材料等众多领域。
邮箱|sale@eoptics.com.cn
电话|+86 027-87001728
网址|www.eoptics.com.cn